Без куллануны өйрәндек SWIR камерасы in ярымүткәргеч индустриясе.

Кремний нигезендәге материаллар чиплар һәм LED кебек микроэлектрон сәнәгатьтә киң кулланыла. Аларның югары җылылык үткәрүчәнлеге, җитлеккән җитештерү процесслары, яхшы электр характеристикалары һәм механик көче аркасында алар микроэлектрон җайланмалар өчен мөһим материаллар.

Ләкин, кристалл структурасы һәм материалның җитештерү процессы аркасында, материалда яшерен ярыклар барлыкка килергә мөмкин, бу җайланманың электр эшенә һәм ышанычлылыгына зур йогынты ясый. Шуңа күрә, бу ярыкларны төгәл ачыклау һәм анализлау микроэлектрон җитештерүдә мөһим бәйләнешкә әйләнде.

Кремний нигезендәге материаллар өчен традицион сынау ысуллары кул белән тикшерү һәм рентген тикшерүне үз эченә ала, ләкин бу ысулларның кайбер җитешсезлекләре бар, мәсәлән, кул белән тикшерүнең түбән эффективлыгы, үткәрелмәгән тикшерүләрнең җиңел булуы һәм сыйфат инспекциясе хаталары; Ләкин, рентген тестында югары бәя һәм нурланыш куркынычлары кебек кимчелекләр бар. Бу сорауларга җавап итеп, SWIR камералары, контактны ачыклау җайланмаларының яңа төре буларак, эффективлык, төгәллек һәм куркынычсызлык өстенлекләренә ия, киң кулланылган яшерен яракны ачыклау технологиясенә әверелә.

SWIR камерасы ярдәмендә кремний субстратындагы ярыкларны ачыклау, нигездә, инфракызыл нурлы энергия спектрын һәм материал өслегенең характеристикаларын анализлап, ярыкларны һәм аларның урнашкан урыннарын ачыклау. SWIR камерасының эш принцибы - инфракызыл оптик технология ярдәмендә дисплейда чыгарылган инфракызыл дулкын озынлыгы диапазонында Якты энергияне алу һәм чагылдыру, аннары эшкәртү аша сурәтнең текстурасын, формасын, төсен һәм башка характеристикаларын анализлау һәм яшерен ярак җитешсезлеген һәм материалдагы урынын ачыклау өчен анализ программасы.

Безнең фактик сынау аша, безнең 5ум пиксель зурлыгы, 1280 × 1024 югары сизгерлек SWIR камерасын кулланып, кремний нигезендәге ярак җитешсезлекләрен ачыклау өчен җитәрлек булуын ачыкларга мөмкин. Проектның конфиденциаль факторлары аркасында рәсемнәр бирү вакытлыча уңайсыз.

Тикшерелгән кремнийга өстәп, теоретик яктан әйтсәк, SWIR камералары шулай ук ​​җайланма өслеген, эчке схемаларны һ.б. ачыкларга ирешә ала. Бу ысул контакт түгел һәм бик югары булган нурланыш чыганакларын куллануны таләп итми. куркынычсызлык; Шул ук вакытта кыска дулкынлы инфракызылның дулкын озынлыгы диапазонында югары үзләштерү коэффициенты аркасында материалларга анализ ясау тагын да төгәл һәм чистартылган. Без әле мондый кушымталарның эзләнү этабында.

Кыска дулкынлы инфракызыл камералар микроэлектроника җитештерү өлкәсендә мөһим ачыклау технологиясенә әйләнер дип ышанабыз.