Við höfum verið að kanna umsókn um SWIR myndavél in hálfleiðaraiðnaðurinn.

Kísilundirstaða efni eru mikið notuð í örrafrænum iðnaði, svo sem flís og LED. Vegna mikillar hitaleiðni, þroskaðra framleiðsluferla, góðra rafeiginleika og vélræns styrks eru þau mikilvæg efni fyrir örrafræn tæki.

Hins vegar, vegna kristalsbyggingar og framleiðsluferlis efnisins, er hætta á að falnar sprungur myndast í efninu, sem hefur mikil áhrif á rafafköst og áreiðanleika tækisins. Þess vegna hefur nákvæm uppgötvun og greining á þessum sprungum orðið mikilvægur hlekkur í örraeindaframleiðslu.

Hinar hefðbundnu prófunaraðferðir fyrir efni sem byggjast á kísil eru handvirk skoðun og röntgenskoðun, en þessar aðferðir hafa nokkra annmarka, svo sem lítil skilvirkni handvirkrar skoðunar, auðvelt að missa af skoðunum og gæðaskoðunarvillur; Hins vegar hafa röntgenprófanir galla eins og háan kostnað og geislunarhættu. Til að bregðast við þessum málum hafa SWIR myndavélar, sem ný tegund snertilausrar uppgötvunarbúnaðar, kosti þess að vera skilvirkni, nákvæmni og öryggi, og verða víða notuð falin sprunguskynjunartækni.

Uppgötvun sprungna á sílikon undirlagi með því að nota SWIR myndavél er aðallega til að ákvarða sprungurnar og staðsetningu þeirra í efnum með því að greina innrauða geislunarorkuna og eiginleika yfirborðs efnisins. Vinnureglan SWIR myndavélarinnar er að fanga og endurspegla geislunarorkuna innan innrauða bylgjulengdarsviðsins sem hluturinn gefur frá sér á skjánum með innrauðri sjóntækni og greina síðan áferð, lögun, lit og aðra eiginleika myndarinnar með vinnslu og greiningarhugbúnað til að ákvarða falinn sprungugalla og staðsetningu í efninu.

Með raunverulegum prófunum okkar má komast að því að notkun 5um pixlastærðar okkar, 1280×1024 SWIR myndavél með mikilli næmni, nægir til að greina sprungagalla sem byggir á kísil. Vegna trúnaðarþátta verkefnisins er tímabundið óþægilegt að útvega myndir.

Til viðbótar við sannað kísil-undirstaða sprunguskynjunarforrita, fræðilega séð, geta SWIR myndavélar einnig náð greiningu á yfirborði tækisins, innri hringrásir osfrv. Þessi aðferð er snertilaus og krefst ekki notkunar geislagjafa, sem hefur mjög mikla öryggi; Á sama tíma, vegna mikils frásogsstuðulls innan bylgjulengdarsviðs stuttbylgju innrauðs, er greining á efnum einnig nákvæmari og fágaðari. Við erum enn á könnunarstigi slíkra umsókna.

Við vonum að stuttbylgju innrauðar myndavélar geti orðið mikilvæg uppgötvunartækni á sviði rafeindaframleiðslu.