ما در حال بررسی کاربرد آن بوده ایم دوربین SWIR in صنعت نیمه هادی.

مواد مبتنی بر سیلیکون به طور گسترده ای در صنعت میکروالکترونیک مانند تراشه ها و LED ها استفاده می شوند. به دلیل رسانایی حرارتی بالا، فرآیندهای تولید بالغ، خواص الکتریکی خوب و استحکام مکانیکی، مواد مهمی برای دستگاه های میکروالکترونیکی هستند.

با این حال، به دلیل ساختار کریستالی و فرآیند ساخت مواد، ترک های پنهان در مواد مستعد ایجاد ترک هایی هستند که عملکرد الکتریکی و قابلیت اطمینان دستگاه را بسیار تحت تاثیر قرار می دهد. بنابراین، تشخیص و تجزیه و تحلیل دقیق این ترک ها به حلقه مهمی در ساخت میکروالکترونیک تبدیل شده است.

روش‌های آزمایش سنتی برای مواد مبتنی بر سیلیکون شامل بازرسی دستی و بازرسی اشعه ایکس است، اما این روش‌ها دارای کاستی‌هایی مانند راندمان پایین بازرسی دستی، وقوع آسان بازرسی‌های از دست رفته و خطاهای بازرسی کیفیت هستند. با این حال، آزمایش اشعه ایکس دارای معایبی مانند هزینه بالا و خطرات تشعشع است. در پاسخ به این مسائل، دوربین های SWIR، به عنوان نوع جدیدی از تجهیزات تشخیص غیر تماسی، دارای مزایای کارایی، دقت و ایمنی هستند و به یک فناوری تشخیص ترک مخفی پرکاربرد تبدیل می شوند.

تشخیص ترک بر روی بستر سیلیکونی با استفاده از دوربین SWIR عمدتاً برای تعیین ترک ها و مکان آنها در مواد با تجزیه و تحلیل طیف انرژی تابشی فروسرخ و ویژگی های سطح مواد است. اصل کار دوربین SWIR این است که انرژی تابشی را در محدوده طول موج مادون قرمز ساطع شده توسط جسم روی صفحه نمایش از طریق فناوری نوری مادون قرمز گرفته و منعکس می کند و سپس بافت، شکل، رنگ و سایر ویژگی های تصویر را از طریق پردازش و تجزیه و تحلیل می کند. نرم افزار تجزیه و تحلیل برای تعیین عیب ترک پنهان و مکان در مواد.

از طریق آزمایش واقعی ما، می توان دریافت که استفاده از دوربین SWIR با حساسیت بالای 1280×1024 پیکسل ما، برای تشخیص عیوب ترک مبتنی بر سیلیکون کافی است. به دلیل فاکتورهای محرمانه بودن پروژه، ارائه تصاویر موقتاً ناخوشایند است.

علاوه بر کاربردهای اثبات شده تشخیص ترک مبتنی بر سیلیکون، از نظر تئوری، دوربین‌های SWIR می‌توانند سطوح دستگاه، مدارهای داخلی و غیره را نیز شناسایی کنند. ایمنی؛ در همین حال، به دلیل ضریب جذب بالا در محدوده طول موج مادون قرمز موج کوتاه، تجزیه و تحلیل مواد نیز دقیق تر و دقیق تر است. ما هنوز در مرحله اکتشاف چنین برنامه هایی هستیم.

ما امیدواریم که دوربین های مادون قرمز موج کوتاه بتوانند به یک فناوری تشخیص مهم در زمینه تولید میکروالکترونیک تبدیل شوند.