Tətbiqi araşdırdıq Swire kamera in yarımkeçirici sənaye.

Silikon əsaslı materiallar mikroelektronik sənayedəki mikroelektronik sənayedəki, məsələn, fiş və LEDlər kimi istifadə olunur. Yüksək istilik keçiriciliyinə, yetkin istehsal prosesləri, yaxşı elektrik xüsusiyyətləri və mexaniki gücü, mikroelektronik cihazların vacib materiallarıdır.

Bununla birlikdə, materialın büllur quruluşu və istehsal prosesi səbəbindən gizli çatlar elektrik performansına və cihazın etibarlılığına çox təsir edən materialda formalaşdırmağa meyllidir. Buna görə, bu çatların dəqiq aşkarlanması və təhlili mikroelektronik istehsalın vacib bir əlaqəsinə çevrildi.

Silikon əsaslı materiallar üçün ənənəvi sınaq metodları əl ilə yoxlama və x - ray yoxlaması, lakin bu metodların əl ilə yoxlanılması, buraxılmış yoxlamaların asan olması və keyfiyyət yoxlama səhvlərinin asan olması kimi bəzi çatışmazlıqlar var; Bununla birlikdə, x - ray testi yüksək qiymət və radiasiya təhlükələri kimi çatışmazlıqlar var. Bu məsələlərə cavab olaraq, Swire Kameralar, yeni bir "əlaqə aşkarlanması avadanlıqları kimi, səmərəliliyi, dəqiqlik və təhlükəsizliyin üstünlükləri, geniş istifadə olunan gizli çatlama texnologiyası olmuşdur.

Swire kamerasından istifadə edərək silikon substratdakı çatlaqların aşkarlanması əsasən infraqırmızı parlaqlıq ekriant spektrini və material səthinin xüsusiyyətlərini təhlil edərək materialları və onların yerlərini müəyyənləşdirməkdir. Swire kamerasının iş prinsipi, infraqırmızı optik texnologiya vasitəsilə ekranda obyekt tərəfindən yayılan infraqırmızı dalğa uzunluğu aralığında parlaq dalğa uzunluğu aralığında parlaq enerjini ələ keçirmək və əks etdirmək və sonra emal vasitəsilə görüntünün toxuması, forması, rəngini və digər xüsusiyyətlərini təhlil etməkdir Materialdakı gizli çat qüsurunu və yerini müəyyənləşdirmək üçün analiz proqramı.

Həqiqi testimizlə, 5um piksel ölçüsümüzdən istifadə edərək, 1280 × 1024 yüksək həssaslıq swire kamera istifadə edərək, silikon əsaslı çat qüsurlarını aşkar etmək üçün kifayətdir. Layihənin məxfiliyi amilləri ilə əlaqədar olaraq, görüntüləri təmin etmək müvəqqəti olaraq əlverişsizdir.

Sübut olunmuş Silikona əlavə olaraq, nəzəri olaraq danışan, teator, swire kameraları da cihaz səthlərinin, daxili sxemlərin və s. təhlükəsizlik; Bu vaxt, qısa dalğanın dalğa uzunluğu aralığında yüksək udma əmsalı səbəbindən materialların təhlili də dəqiq və zərifdir. Biz hələ bu cür tətbiqlərin kəşfiyyat mərhələsindəyik.

Ümid edirik ki, qısa dalğanın infraqırmızı kameraları mikroelektronika istehsalı sahəsində vacib bir aşkar texnologiyası ola bilər.